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任何高精儀器都考研其性能,，優(yōu)異性能的ICP光譜儀做篩選檢測(cè)時(shí)可以準(zhǔn)確排查是否合格,，將空白空間縮小;

　　有些ICP光譜儀對(duì)有些相似金屬識(shí)別率較低或者誤判，比如鎘譜線與X光管銠的電極征譜線重疊。甚至不能準(zhǔn)確測(cè)定鎘;

　　　由于性能不足,，可能發(fā)生錯(cuò)判,、誤判,、無(wú)法判定等事件頻發(fā),，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提高、風(fēng)險(xiǎn)增加,。

大部分ICP光譜儀的檢測(cè)穩(wěn)定性受到X光管老化,、環(huán)境溫度、電源波動(dòng)等影響,，使數(shù)值不準(zhǔn),，有的ICP光譜儀X射線漏泄嚴(yán)重，危及操作人員的安全,。

ICP光譜儀的關(guān)鍵性能

　　一,、X線束光斑直徑

A.光斑直徑大小在使用中會(huì)體現(xiàn)出一些差別。目前光斑直徑從0.1mm到15mm不等,。光斑小不受試樣面積限制,，光斑大受材料不均勻性影響小。

二,、檢測(cè)器

A.SDD：新型的SDD檢測(cè)器屬高純硅檢測(cè)器,，穩(wěn)定性好，檢測(cè)靈敏度高,。

B.SSD：老款的SSD檢測(cè)器屬硅鋰檢測(cè)器,，漂移大,，檢測(cè)靈敏度低,。

　　三、 X光管的電極材料

　　目前X線熒光ICP光譜儀基本上采用銠靶X光管,，個(gè)別有鎢靶X光管的,。

四、檢測(cè)方法和軟件

  A.帶補(bǔ)正的相對(duì)檢量線法：可以自動(dòng)補(bǔ)償環(huán)境條件變化,、供電變化,、X管老化等對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)的影響。

B.FP法,、部分檢量線法：穩(wěn)定性差,。

C.光斑大小間接反映X光束的能效。大光斑（幾mm到十幾mm）通常采用準(zhǔn)直器整理光束,，被遮擋部分白白浪費(fèi)掉;1mm以下小光斑采用導(dǎo)管整理光束,，能量損失較少。

D.光斑大小根據(jù)實(shí)際測(cè)量需要選擇,，光束能量損失通常制造商在軟件,、濾光片等方面做適當(dāng)補(bǔ)償。