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　　ICP光譜儀應(yīng)用很廣,，在農(nóng)業(yè),、天文、汽車,、生物,、化學(xué)、鍍膜,、色度計量,、環(huán)境檢測、薄膜工業(yè),、食品、印刷,、造紙,、拉曼光譜、半導(dǎo)體工業(yè),、成分檢測,、顏色混合及匹配、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用,、熒光測量,、寶石成分檢測、氧濃度傳感器,、真空室鍍膜過程監(jiān)控,、薄膜厚度測量、LED測量,、發(fā)射光譜測量,、紫外/可見吸收光譜測量、顏色測量等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。

　　構(gòu)成：

　　一臺典型的ICP光譜儀主要由一個光學(xué)平臺和一個檢測系統(tǒng)組成,。包括以下幾個主要部分：

　　1. 入射狹縫: 在入射光的照射下形成ICP光譜儀成像系統(tǒng)的物點。

　　2. 準(zhǔn)直元件: 使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄�,。該�?zhǔn)直元件可以是一獨立的透鏡,、反射鏡,、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵ICP光譜儀中的凹面光柵,。

　　3. 色散元件: 通常采用光柵,，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。

　　4. 聚焦元件: 聚焦色散后的光束,，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像,，其中每一像點對應(yīng)于一特定波長。

　　5. 探測器陣列：放置于焦平面,，用于測量各波長像點的光強度,。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。